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電鍍加工廣泛應用於(yu) 半導體(ti) 芯片,用於(yu) 電鍍或點狀結構,大部分的電鍍方法都是垂直電鍍,以銅為(wei) 例,利用現有的電鍍槽,如果控製不好,電路板電鍍銅後容易出現“狗骨頭效應”,即周圍的銅很厚,而中間區域很薄,整個(ge) 電路板的均勻性差,分布趨勢大。
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提供一種提高電鍍加工勻性的方法,電鍍後均勻性良好,鍍液采用雙槽,鍍液溫度範圍控製在20~24攝氏度,鍍液中含有五水硫酸銅,硫酸銅濃度控製在175~225g/l。硫酸在150~200g/l的電鍍過程中基板均為垂直設置,當基板浸入母槽電鍍時,基板距陽極兩側的距離相等或接近相等,總體方案是通過各種措施對電鍍采用二次電流分布均勻性控製,涉及多麵、鍍液、基板和陽極距離、鍍液,並通過上下兩次電鍍的改造。
電鍍主體為屏蔽電極線副母槽,副槽陰極(需電鍍板)與陽極電極線的麵積為1:1,鍍液溫度範圍控製在20°C,如果大家想要了解更多相關內容,建議關注本網站。
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